Stupeň XY poskytuje vysokou rychlost a rozlišení 10 nm

Zprávy

Stupeň XY poskytuje vysokou rychlost a rozlišení 10 nm

Nový integrovaný stolek XY — součást jeho kompaktního rozpisu vysokorychlostních polohovacích stolků.

Všechny tyto polohovací stupně jsou poháněny ultrazvukovými piezo-lineárními motory – patentovanými motory, které poskytují plynulý pohyb, vysoké rozlišení a rychlou odezvu kroků a ustálení

 

EMSLM-120X100-INXY-E50 Invertovaný mikroskop s lineárním motorem Stage1

Motory jsou také vybaveny samosvorným pohonem pro zajištění plošiny na místě bez napájení – užitečné v aplikacích, kde záleží na stabilitě polohy a nízké spotřebě energie.
Dlouhý zdvih a kompaktní konstrukce doplňují široký dynamický rozsah
Stolek ELMTMINI XY poskytuje zdvih 0,8 palce na osu s půdorysem 42 x 42 mm (1,6 x 1,6 palce).Jeho nízký profil 21 mm a miniaturizovaný design umožňuje snadnou integraci do stísněných prostor.Kromě vysokého rozlišení (lineární enkodéry 10 nanometrů) poskytuje vysokou rychlost pohybu až 200 mm/s a rychlý krok usazování.

Špičkové ovladače pohybu a softwarový balík
Aby bylo možné využít provozní princip, který poskytuje vynikající dynamický výkon s dobou ustálení v rozsahu milisekund při zachování vysokého rozlišení a hladkého provozu, využívají ultrazvukové motory pokročilé strategie řízení, jako je automatické přepínání mezi několika statickými a dynamickými sadami parametrů PID a adaptivní frekvence. sledování.PI nabízí řadu ultrazvukových ovladačů pohybu (dostupné v konfiguracích pro stolní počítače, stojany a OEM. Pro zákazníky OEM je k dispozici také čip ASIC obsahující algoritmy řízení pohybu. Součástí je komplexní softwarový balík: ovladače a ukázkové programy pro LabVIEW, K dispozici jsou dynamické knihovny pro Windows a Linux, MATLAB.Rozhraní zahrnují TCP/IP, USB, RS-232 a analog.
Specifikace řady ultrazvukových mini lineárních stolků
L


Čas odeslání: 12. dubna 2023